蓝宝石窗口可用于半导体处理室以及许多其他高真空应用。 快速侵蚀石英窗口的工艺环境并不会对单晶蓝宝石造成影响。 石英窗口的使用寿命有限,而蓝宝石窗口在很多情况下可以无限期使用。
蓝宝石还用于航空航天领域,以保护机载成像和传感飞行视觉系统,同时允许宽带传输。蓝宝石与紫外线、可见光和中波红外传感器兼容。
蓝宝石非常坚硬且耐磨,是抵御高速弹丸的首选。 有关此特定用途的更多信息,以及使蓝宝石之所以成为安全窗口首选材料的特性。
扁平窗口 - 世界上最大的蓝宝石窗口
蓝宝石片的生产采用限边馈膜生长 (Edge Fed Growth) 技术,这种工艺可以让单晶蓝宝石生长到“近净”形状,从而减少生长后的加工。EFG™ 技术使得大型窗口(1 英尺 × 3 英尺)的生产成为可能,蓝宝石晶体的形状和大小在其形成过程中得到控制。
标准尺寸范围
基于面积的片材尺寸
厚度 x 宽度 | 厚度范围 |
---|---|
9" x 26" (228.6mm x 660.4mm) | .100" - .300" (2.54mm x 7.62mm) |
12" x 20" (304.8mm x 508mm) | .100" - .300" (2.54mm x 7.62mm) |
6" x 6" (152.4mm x152.4mm) | .025" - .300" (0.635mm x 7.62mm) |
面积 (Sq) | 长度(最小-最大) | 宽度(最小-最大) | 厚度 |
---|---|---|---|
1 - 4 | 0.5 - 8 | 0.5 - 8 | 0.039 - 0.315 |
4 - 16 | 1 - 12 | 1 - 12 | 0.039 - 0.125 |
4 - 16 | 1 - 16 | 1 - 12 | 0.125 - 0.315 |
16 - 36 | 1 - 12 | 1 - 12 | 0.039 - 0.125 |
16 - 36 | 1 - 24 | 1 - 12 | 0.125 - 0.300 |
36 - 81 | 1.5 - 24 | 1.5 - 12 | 0.125 - 0.300 |
81 - 234 | 1.5 - 24 | 1.5 - 12 | 0.125 - 0.300 |
90 - 216 | 9.1 - 18 | 9.1 - 12 | 0.125 - 0.300 |
所示尺寸均为英寸
曲面窗口
已经开发了一个过程来生产弯曲的蓝宝石窗户。曲面蓝宝石的径向尺寸从 2”到 25”不等、弦长从 2.5”到 9”英寸、厚度从 .04”到 .30”英寸不等(如下图所示)。
应用
传感器窗口 | 半导体加工 |
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视窗和观察窗 车辆安全窗口 激光雷达 (LiDAR) 传感器保护 微波波导屏障 前视红外 (FLIR) 窗口 电光 (EO) 窗口 激光指示器/测距仪窗口 用于光谱分析的红外窗口 工业过程中的光学传感器 信件分拣光学扫描仪窗口 热量/烟雾检测窗口 |
腔室窗口 高真空室 末端执行器 气体扩散板 对焦环 花洒 静电卡盘 |