石榴石晶体和基片

可随时用于外延

钆镓石榴石 (GGG)
替代型钆镓石榴石 (SGGG)
钕镓石榴石 (NGG)

GGG、SGGG、NGG  镓晶体均可以被用作生长半导体晶体层的基片。此工艺被称为“外延”,用于纳米技术和半导体制造。 

我们晶体的晶格参数得到了很好的控制,表面抛光处理的质量也很高,可以实现完美的外延。

我们可以提供具有多种成分的晶体,这些晶体有着非常均匀且可控的晶格参数,直径最大可达 4”。 较大尺寸的晶体也可用于特定的应用,如低温应用。

我们拥有庞大的工业产能,可以提供独特的茶品以及数以千计的晶片。

  • 直径可达 4" (100mm)。
  • 可应要求提供特殊的配置和形状(正方形、矩形等)。
  • 我们基片的抛光表面质量非常高,可随时用于外延(“epi-ready”)。

规格

特性
  组成 晶格参数(20ºC 时) 定向
GGG Gd3Ga5O12 12.383 A +/- 0.001

(111)
(110)
(100)

SGGG 替代型 GGG 12.497 A +/- 0.003

(111)
(110)
(100)

NGG Nd3Ga5O12 12.509 A +/- 0.001

(111)

  其他特定的组分也可以根据需要生产

 

尺寸范围

标准直径

  • GGG (Gd3Ga5O12)  1”、2”、3”或 4”
  • SGGG(替代型 GGG)  1”、2”、3”或 4”
  • NGG (Nd3Ga5O12)  1" 或 2"

可提供厚度

  • 任何 > 450 微米的厚度

标准尺寸和厚度的晶片有现货,可立即供应。亦可应要求提供其他形状和尺寸。

型号 尺寸

公差

定向
GGG(001) 1"x0.5

1" 直径 x 500 μm 厚

直径:+/- 0.005” | 厚度:+/- 50 μm

定向:(001) +/- 0.1°

GGG(110) 1"x0.5 1" 直径 x 500 μm 厚

直径:+/- 0.005” | 厚度:+/- 50 μm

定向:(110) +/- 0.1°

GGG(111) 1"x0.5 1" 直径 x 500 μm 厚

直径:+/- 0.005” | 厚度:+/- 50 μm

定向:(111) +/- 0.1°
GGG(001) 2"x0.5 2" 直径 x 500 μm 厚

直径:+/- 0.005” | 厚度:+/- 50 μm

定向:(001) +/- 0.1°
GGG(110) 2"x0.5 2" 直径 x 500 μm 厚

直径:+/- 0.005” | 厚度:+/- 50 μm

定向:(110) +/- 0.1°
GGG(111) 2"x0.5 2" 直径 x 500 μm 厚

直径:+/- 0.005” | 厚度:+/- 50 μm

定向:(111) +/- 0.1°
GGG(001) 3"x0.5 3" 直径 x 500 μm 厚

直径:+/- 0.005” | 厚度:+/- 50 μm

定向:(001) +/- 0.1°
GGG(111) 3"x0.5 3" 直径 x 500 μm 厚

直径:+/- 0.005” | 厚度:+/- 50 μm

定向:(111) +/- 0.1°

 

Data Sheets
152094_Luxium_Garnet-Wafers Sell Sheet_FIN.pdf
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